파크시스템스

나노계측 전문업체

파크시스템스

  • 코드 140860
  • 소속 KOSDAQ
  • 업종 의료, 정밀기기, 전자장비와기기
  • 테마 원자현미경, 나노계측, EUV마스크, 파운드리

투자 요약정보

  • 동사는 원자현미경(AFM) 기반 나노계측 전문업체최근 국내 최초로 EUV용 마스크 검사장비를 개발했는데, 해당 장비는 마스크 손상 없이 결함을 검사 및 개선할 수 있는 장비이며 현재 글로벌 주요 파운드리 업체들과 장비 테스트 과정을 거치고 있어, 조만간 공급 여부가 확정될 것으로 알려짐
  • EUV는 기존 공정에서 활용되던 불화아르곤(ArF) 대비 파장이 14분의 1로 짧아 더 미세한 회로를 구현할 수 있는 게 특징으로, 극미세 공정이 가능한만큼 마스크 오염 검사도 더 촘촘하고 정밀하게 해야 하는데, 이는 EUV 마스크 가격이 장당 5억~10억원에 달할 정도로 고가인 만큼, 먼지 등의 미세한 오염물질이 있을 경우에도 마스크 손상으로 인한 비용 손실이 크기 때문
  • 그동안 일본의 레이저텍이 개발한 화학선(자외선의 일종)을 활용한 EUV용 마스크 검사장비는 생산량이 적고 가격이 비싸 도입이 쉽지 않은 상황이었지만, 동사가 개발한 EUV용 마스크 검사장비는 화학선이 아닌 원자현미경을 기반으로, 마스크의 결함은 물론, 결함 분석과 개선 기능까지 동시에 구현할 수 있는 장점을 가짐
  • 원자현미경은 미세한 탐침을 시료 표면에 원자 단위까지 접근시켜, 여기서 발생하는 원자 간의 힘을 통해 표면의 원자 구조를 측정하는 나노계측장비로, 최고 수십만 배의 배율을 가진 전자현미경(SEM)보다 최고 수천만 배의 배율을 갖췄으며, 시료의 전자기적·기계적·광학적 특성 등 다양한 물리적 성질을 나노미터(nm) 수준에서 분석하고, 물체를 조작할 수 있으며, 국내에서 원자현미경을 생산할 수 있는 업체는 동사가 유일
  • 동사가 개발한 장비는 현재 글로벌 파운드리 기업에 1대가 납품돼 테스트가 진행되고 있는 것으로 알려졌으며, 테스트의 결과에 따라 추가 공급이 가능할 것으로 판단됨
  • 출처: 디일렉